二氧化硅如果再镀膜过程中，放气量大了怎么办？

jsats0523

二氧化硅如果再镀膜过程中，放气量大了怎么办？重新换了二氧化硅，还会出现这个问题?

zkyioe

放气量大你根据真空判断的？你充氧没？如对薄膜没有影响，可以不管，实在不行加长预熔时间看看。