镀长波通，反射蓝绿色，镀后脱膜严重，求助

charles2022

5 a) D9 l( D7 r' G9 H
用这个膜系Design:         

1	SiO2	76.09
2	TI3O5-HH	23.94
3	SiO2	86.27
4	TI3O5-HH	52.87
5	SiO2	69.92
6	TI3O5-HH	64.07
7	SiO2	85.38
8	TI3O5-HH	58.9
9	SiO2	83.24
10	TI3O5-HH	53.23
11	SiO2	213.95

因为有颜色要求780-1100低反。镀出客户基片来掉膜很厉害，好多小气泡一样。做测试的白玻璃表面不掉膜但是膜层很软。有没有知道的请指教。
补充；机器南光蒸发机1350    80度  基片亚克力      QQ 13893538.

zkyioe

加离子源试试，另外不加温不可以吗？ sio2压应力太大了

wazxq

只能加离子源，还需要有些强度的霍尔源