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[求助] GE镀膜温度

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发表于 2018-7-21 11:44:55 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位薄膜大神,有没有人镀滤光片使用GE(锗)材料的,请问您们的镀膜速率和基片温度是多少啊?有没有相关的文献呢?& P/ Z. g0 }$ ~* z& Q3 t

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QQ
发表于 2018-7-27 05:24:36 | 显示全部楼层
200度左右,温度太高会膜层有吸收。
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发表于 2018-7-27 09:27:00 | 显示全部楼层
我们一直都在使用这些材料做中远红外滤光片
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 楼主| 发表于 2018-8-14 11:29:54 | 显示全部楼层
xiaohuilee 发表于 2018-7-27 17:27. @- o9 ]$ c& z7 Q6 I! i) {7 n4 B
我们一直都在使用这些材料做中远红外滤光片
: a( B6 N0 D* ?2 {' h/ F  `
能介绍点经验吗?
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 楼主| 发表于 2018-9-5 03:29:44 | 显示全部楼层
士官长 发表于 2018-7-27 13:24( p0 O, D/ g# u5 j0 |7 D0 N% g
200度左右,温度太高会膜层有吸收。

/ m7 F2 m; k1 {% f+ Z& r有没有相关的文献介绍下看看
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 楼主| 发表于 2018-9-5 03:29:54 | 显示全部楼层
士官长 发表于 2018-7-27 13:24$ t  G2 ]3 N; k8 G. w
200度左右,温度太高会膜层有吸收。
; N% F4 D2 H+ R1 x  j" r4 |
有没有相关的文献介绍下看看
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发表于 2018-9-12 08:01:11 | 显示全部楼层
这个没有   你可以自己查下    设备不同蒸发速率也不一样   我们就用的比较高  15A、S
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