薄膜的应力控制技术研究现状

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　　摘　要：薄膜应力普遍存在于薄膜元器件中,从而影响薄膜器件性能,限制了其良好的应用前景.所以控制薄膜的应力,消除其不良影响,是薄膜生产工艺中不可或缺的技术手段.本文对此详细阐述了几种常用的薄膜应力控制方法,并对以后研究工作的开展提出几点要求.

　　关键词：薄膜;应力;控制技术

9 H) V) U- L+ ]5 Y 　　分类号：O484.2　文献标识码：A
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& u# w; t  ^8 e+ D" W 　　文章编号：1672-7126（2008）增刊-017-05

Stress Release and Control of Thin Films materials Used in Devices Fabrication

$ R8 u; u# p6 b4 \2 M1 W Jiang Zhao　 Chen Xuekang

　　蒋钊,联系人:Tel:13893225634;E-mail:qqq-128@163.com
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　　作者单位：蒋钊（兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,兰州,730000）

) B6 s- l2 [* z9 v2 `& n 　　陈学康（兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,兰州,730000）
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