小口径激光腔镜高阈值高反射膜系

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小口径激光腔镜高阈值高反射膜系
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9 ?- B0 ]$ @- I* n <正>极高反射率的光学薄膜的主要镀制方:一种是等离子溅射技术;另一种是传统的电子束镀制法。相比等离子溅射技术,电子束镀制法在相同条件下达到相同反射率所需层数多,所镀制薄膜散射损耗相对要大,但是设备相对便宜。测试均使用精度为0．1％的Lambda分光光度计。在(?)50mm×5mm的单晶硅基底上,对入射波长1．315μm,入射角为0°,镀制高反射率薄膜。在LEYBOLDAPS 1504上,以Ta2O5为高折射率材料,蒸发速率0．3nm／s,充氧量25sccm／min, 基本真空度0．9mPa。使用等离子体辅助沉积技术,离子流的偏压为120V,发射电流为40A。以SiO2为低折射材料,蒸发速率0．60nm／s,充氧量8sccm／min,开始镀膜真空40mPa,基本真

tpobju85

纯支持
; I: Q9 \8 S+ `& j& ~+ d; Q为了LZ，顶一下。
！

4 r  i# @3 n$ ^! n3 L+ x% B

yikoulibu

雖然不是我想要的資料
  T: M( v  d8 t+ ^8 N1 M0 [看可以收藏 感謝

huntstars

支持一下楼主

cgsolar

你好啊，过来看看！呵呵@

cgsolar

電子書-Handbook Of Lasers！！！！！！好啊！！！！！！

weimao_liu

路过，支持一下。

heibailamei

不错，谢谢啦

1985120

需要中！谢谢！！！！！！

yzhuang

好东西，就是钱不够用啊