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摘要+ Q6 y! V/ _1 [3 B9 d+ y
为了进一步减少激光在传输过程中的光能损失,针对多模光纤和光学系统中的光
) P0 K; b- S: P' V8 @0 q8 j学零件,根据光学薄膜的理论,设计并制备了减反射膜和抗激光的高反射膜"并对激* @( J L/ ~# q6 @( m. G3 [- ~: Z
光膜的镀膜材料!膜系设计!沉积工艺及离子辅助沉积参数等进行了深入研究"利用# C& Z" v! o, ~; y* _6 i3 y6 ]7 G
真空镀膜技术,利用TFC软件进行膜系设计,有效的提高了激光损伤闲值,解决了低
0 i6 x$ I6 P8 v y1 R+ O$ c/ E, j2 x, h温冷镀的膜层牢固性问题"通过对镀制后基片的测试结果分析,调整镀膜工艺参数和
. G, o; n0 f% D" [2 v# }+ @监控方法减小了膜厚误差"制备的减反膜的反射率R<0.2%,高反射膜当激光以25/一8 N+ j4 G2 e. d1 o! Z% f* M( l, @, T
65/入射时,其反射率R>99.7%"& v2 K0 ?4 z! J$ X4 c6 H W3 Q
关键词:真空镀膜;减反膜;高反膜;多模光纤. U# u" i$ G5 Y% r5 P
链接:http://pan.baidu.com/s/1o8es5To 密码:9 I1 d! @' Y1 x& L! S7 j
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