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摘要- l1 H: A. d( G! G! i+ O1 Q
为了进一步减少激光在传输过程中的光能损失,针对多模光纤和光学系统中的光
2 r M) b9 ^1 @3 K/ [学零件,根据光学薄膜的理论,设计并制备了减反射膜和抗激光的高反射膜"并对激
& ?/ ^( C! m3 d2 M8 ]/ m5 Y: D! ]. v光膜的镀膜材料!膜系设计!沉积工艺及离子辅助沉积参数等进行了深入研究"利用+ G# g( q$ A, h/ i) y$ c
真空镀膜技术,利用TFC软件进行膜系设计,有效的提高了激光损伤闲值,解决了低
6 N* p( A! J; q5 p! H- k+ p; _' F温冷镀的膜层牢固性问题"通过对镀制后基片的测试结果分析,调整镀膜工艺参数和" L7 @) D4 t' G4 l& H7 e
监控方法减小了膜厚误差"制备的减反膜的反射率R<0.2%,高反射膜当激光以25/一
S' ~. E4 z" `0 ~% Q; z65/入射时,其反射率R>99.7%"7 a/ h" v. u/ h" ?( o
关键词:真空镀膜;减反膜;高反膜;多模光纤0 D( Y* D1 `7 ?9 [! ~( E6 X
链接:http://pan.baidu.com/s/1o8es5To 密码:& b: C( q! ~# C& u, E' A7 k! c
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